干式真空泵的應用范圍

點擊次數:   更新時間:16/09/19 09:02:09     來源:wuxibaodi.com關閉分    享:
  現在干式真空泵越來越受到人們的歡迎,應用范圍也越來越廣,具體都應用在哪些領域呢?下面的文章為大家介紹一下。
  1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
  4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等;
  5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
  干式真空泵的出現,為真空行業增添了一抹新的“靚麗風景”,因其良好的性能被廣泛應用在各個行業。

干式真空泵


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