干式真空泵在半導體行業的應用要求

點擊次數:   更新時間:19/07/03 11:03:07     來源:wuxibaodi.com關閉分    享:
  干式真空泵應用較為廣泛,其中在半導體行業和石油化工行業使用為甚,在這些半導體生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。今天小編主要講的是干式真空泵在半導體行業中的應用要求:
  以半導體行業為代表,要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。
  1.清潔條件下的抽氣,只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣。
  2.中等條件下的抽氣,干式真空泵抽除工藝過程的反應氣體,但無固體顆粒物。
  3.惡劣條件下的抽氣,抽除化學反應物(有毒甚至致癌)及固體顆粒物。
  以上就是干式真空泵在半導體行業不同環境條件下中應具備的要求,憑借其真空度高、穩定性好等特點有著比較理想的使用效果,得到了業內的普遍認可。
小編:Dick

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