干式真空泵的五種形式

點擊次數:   更新時間:18/04/27 14:57:04     來源:wuxibaodi.com關閉分    享:
  干式真空泵的應用范圍廣泛,其中和它的五種形式有一定的關系,不知道你們對于干式真空泵的五種形式了解多少,不了解也沒關系,本文就為大家介紹這方面的知識。
  一、雙圓裂片式
  雙圓裂片式的多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
  二、三葉圓裂片式
  三葉圓裂片式設計和上述形式設計的原理相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力—下降。
  三、組合式(羅茨+爪)
  組合式(羅茨+爪)設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計相同。也有些廠家將其最后一級改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。
  四、外部壓縮型螺桿式
  在外部壓縮型螺桿式設計中,使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小,同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣,氣體在泵體內停留的時間也最短。這種設計但在復雜的半導體工藝中表現出的穩定性非常強。
  五、內部壓縮型螺桿式
  螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,容易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。
  通過上文的介紹我們了解到干式真空泵的五種形式,在以后的使用過程中我們可以根據自己的需求來選擇它的形式。

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