干式真空泵

  • 產品名稱: 干式真空泵
  • 產品分類: 干式真空泵系列
  • 公司名稱: 淄博恒丰AG真空設備有限公司
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  • 產品價格: ¥0.0
  • 添加時間: 17/12/11
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  山東恒丰AG真空設備有限公司十年來一直致力于設計、生產和銷售干式真空泵,產品型號齊全,價格低,售后服務好。
  干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。
  干式真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
  1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
  2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
  4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
  5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
干式真空泵產品熱銷城市:山東
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